集结MEMS创新代工力量 共筑MEMS产业新生态！

　　代工制造在我国MEMS产业的发展中扮演着至关重要的角色。拥有成熟制造工艺的代工线，不仅能提升产品生产效率，降低了制造成本，还直接推动了技术的快速迭代与应用创新。今年，我国顶尖科研平台和知名MEMS代工线年第五届中国MEMS制造大会暨微纳制造与传感器展览会，共同交流最新技术与市场趋势。这一盛会为行业内的专家、学者与公司可以提供了一个合作与互动的平台，促进了科研成果的转化与应用。通过整合创新的科研力量和先进的制造能力，此次MEMS行业的品牌盛会将逐渐增强中国MEMS产业的国际竞争力，推动技术进步，助力行业的可持续发展，展现出强大的影响力和促进作用。

　　MEMS中试平台位于苏州纳米城，是国内首个商业化运作的6英寸MEMS器件研发、中试和批量化生产平台。平台开展包括硅基MEMS以及铌酸锂、PZT等新材料产品的工艺研发、中试、量产服务。平台拥有超净实验室3000平方米，设备200余台套，形成了年产60000晶圆的批量生产能力。经过多年在MEMS领域的耕耘，苏州纳米城MEMS中试平台打造了一支完整的高水平微纳加工技术团队，具备完整的工艺库及各种器件工艺匹配能力，产品类别包括

　　微镜、喷墨头、流量传感器、气体传感器、温度传感器、热电堆、滤波器、光通讯器件、生物芯片等，业务覆盖西北、华北、华东、西南、华南等地，目前已服务120多家企业、400多颗产品，对中国MEMS的创新及发展产生了重大的支撑及促进作用。

　　纳米加工平台是中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所的四个集科研攻关与加工服务于一体的技术平台之一。纳米加工平台是国家微纳加工与制造产业技术创新战略联盟成员单位、中国科学院纳米器件平台、江苏省纳米加工服务平台、苏州市微纳器件加工及系统集成服务平台、苏州市微纳加工实训基地和苏州工业园区纳米技术人才实训基地。纳米加

　　的科学研究和技术开发功能。平台为广大新老客户提供技术咨询、定制化微纳加工服务和微纳加工专业培训，可实现设备共享，允许用户独立操作和自主研发。同时，平台也搭建和企业、高校联合攻关，集“产、学、研、检”为一体的创新合作模式。纳米加工平台的学科研究涵盖宽禁带半导体的新材料生长、工艺开发、功率器件研制、自旋电子学、二维材料异质结的纳米光/电子器件、光子芯片和先进微电子机械系统与集成等领域。平台的建设目标是助力半导体产业高质量发展，致力于打造国际一流、集产学研于一体的微纳加工研发及服务基地。

　　芯联集成电路制造股份有限公司主要是做 MEMS、IGBT、MOSFET、模拟IC、MCU 的研发、生产、销售，为汽车、新能源、工控、家电等领域提供完整的一站式芯片系统代工方案。公司是国内领先的具备车规级IGBT/SiC芯片及模组和数模混合高压模拟芯片生产能力的代工企业，拥有种类完整、技术先进的车规级高质量功率器件和功率IC研发及量产平台，也是国内重要的车规和高端工业控制芯片及模组制造基地。同时，芯联集成还是国内规模、技术领先的MEMS晶圆代工厂。芯联集成的业务面向全球，除了浙江绍兴总部，公司在中国上海、深圳、合肥，日本东京、欧洲瑞士都设有销售和市场办公室。

　　赛莱克斯微系统科技(北京)有限公司（简称“赛莱克斯北京”）于2015年12月在北京经济技术开发区注册成立，专门干半导体晶圆制造的技术开发、技术转让、技术咨询、技术服务及产品制造等业务，是北京赛微电子股份有限公司的控股子公司。通过赛微电子收购国际领先的MEMS代工公司Silex Microsystem等一系列战略布局的实施，赛莱克斯北京在企业成立之初就获得了强大、丰富的重大专项成果及项目积累、国际先进的MEMS代工技术、管理技术和管理团队等资源。工艺技术团队，来自瑞典的全球最大的纯MEMS代工企业Silex，其具备0.35um制造工艺。制造技术团队，来自海内外的技术专家，具备多年的国内外知名半导体企业的建厂、量产经验。此布局的实施，为建设国内第一条8英寸MEMS国际代工线提供了坚实的基础。此代工线建设项目的实施，一方面，将为国内MEMS产品的研发和量产提供成熟的技术上的支持和产能保障，从而促进和加快国产MEMS传感器产品推向物联网、可穿戴设备、消费电子、工业设施等领域的产业化进程;另一方面，还将同时面向国际市场，致力于成为全世界MEMS代工领域的重要一极。

　　杭州士兰微电子股份有限公司坐落于杭州高新技术产业开发区，是专门干集成电路芯片设计以及半导体微电子相关这类的产品生产的高新技术企业。企业成立于1997年9月，总部在中国杭州。2003年3月公司股票在上海证券交易所挂牌交易，是第一家在中国境内上市的集成电路芯片设计企业。得益于中国电子信息产业的快速的提升，士兰微电子已成为国内顶级规模的集成电路芯片设计与制造一体（IDM）的企业之一，其技术水平、营业规模、盈利能力等各项指标在国内同行中均名列前茅。

　　建在杭州钱塘新区的集成电路芯片生产线英寸的芯片制造产能中排在全球第二位。公司8英寸生产线年投产，成为国内第一家拥有8英寸生产线的民营IDM产品公司，8英寸线吋特色工艺晶圆生产线万片，先进化合物半导体制造生产线万片。

　　中国兵器工业第二一四研究所，是兵器工业集团所属唯一的微电子专业研究所，国家军用微电子技术骨干研究所和国家重点保军单位。建有国内先进的6英寸0.5μm军用半导体集成电路生产线英寸体硅MEMS器件生产线等六大工艺平台。二一四所拥有国家发改委“微电子机械系统（MEMS）国家地方联合工程实验室”、“国家人社部博士后科研工作站”、“安徽省MEMS工程实验室”、“江苏省高性能硅MEMS工程技术研究中心”、“安徽省智能传感器创新中心”、“兵器微电子与微系统技术重点实验室”、“兵器微系统制造技术创新中心”、“兵器电子元器件可靠性检测中心”等十余个省部级及其以上创新平台。

　　广州增芯科技有限公司由广州湾区智能传感器产业集团有限公司发起，于2021年4月在广州正式成立。增芯总部在广州东部产业新城、广深经济走廊重要节点一一国家级增城经济技术开发区，注册资本为64亿元人民币，主营业务是集成电路制造及研发设计服务，目前正在建设以传感器及配套专用ASIC芯片为基本的产品的12英寸晶圆制造产线。增芯科技是第一家专门为客户提供12-inch晶圆的兼容CMOS的MEMS晶圆代工厂，专注于CMOS-MEMS专用和通用工艺模块技术为客户提供专业化MEMS代工解决方案。

　　广州奥松电子股份有限公司创立于2003年，坐落于广州开发区科学城，是应用MEMS半导体工艺技术生产传感器特色芯片的国家级专精特新“小巨人”企业，也是MEMS领域集研发、设计、制造、封装测试、终端应用为一体的MEMS智能传感器全产业链（简称IDM）企业，对全国提供全方位服务的一站式MEMS特色芯片解决方案。公司主要经营产品有温湿度传感器、流量传感器、压力传感器、气体传感器、光学传感器、磁传感器、红外传感器、真空传感器、水蒸气传感器、颗粒物传感器、粒子探测器等。奥松电子有着先进的MEMS半导体智能传感器特色芯片生产线，并已启动建设国际先进、国内一流的8英寸MEMS特色芯片IDM产业基地，大幅度提升高端特色芯片的研发定制能力，是国内先进的MEMS半导体芯片制造企业。

　　苏州固锝电子股份有限公司是国内半导体分立器件二极管行业完善、齐全的设计、制造、封装、销售的厂商，从前端芯片的自主开发到后端成品的各种封装技术，形成了一个完整的产业链。基本的产品包括最新封装技术的无引脚集成电路产品和分立器件产品、汽车整流二极管、功率模块、整流二极管芯片、硅整流二极管、开关二极管、稳压二极管、微型桥堆、军用熔断丝、光伏旁路模块等共有50多个系列，1500多个品种。产品大范围的应用在航空航天、汽车、绿色照明、IT、家用电器以及大型设备的电源装置等许多领域。设计、研发太阳能电池用银浆以及各种电子浆料，研发并规模化生产物联网领域各种新型传感器。

　　上海微技术工业研究院（SITRI）成立于2013年，由上海市科委、嘉定区政府和新微集团发起共建，依托新微集团“三位一体”协同创新体系，打造集科学研究、技术开发、成果转化、产业孵化和人才培养于一体的研发与转化功能型平台。通过“超越摩尔”集成电路领域全流程中试和关键共性研发技术，为合作伙伴与创新团队提供全面技术上的支持和产业孵化服务。

　　范企业、上海市“专精特新”企业，连续两年入选上海市硬核科技公司TOP100，已累计申请专利近千件，培育孵化公司20余家，总估值超过120亿元。

　　辐射全国，构建科学研究+技术攻关+产业孵化+资本赋能+人才高地全过程创新和高质量孵化生态链，建设科学技术创新和产业创新深层次地融合发展的“超越摩尔”功能型平台和产业生态，推动“超越摩尔”领域新质生产力跃升。

　　浙江芯动科技有限公司坐落于浙江省嘉兴市，是行业内首批涉及MEMS产品工艺的研发、流片和封测的企业，有近20年的MEMS行业经验。公司专注于中高端MEMS器件研发及量产加工制造，可以为客户提供从流片到封测的一站式服务。企业具有先进的6英寸MEMS芯片生产线，专业代工生产MEMS压力传感器芯片、MEMS加速度计芯片、 MEMS陀螺仪芯片、MEMS光镜芯片、柔性芯片、生物医疗芯片、光纤传感器芯片、气体传感器芯片以及其他各种MEMS敏感芯片。代工产品已受到国内多家有名的公司客户的认可。终端产品大范围的应用于人机一体化智能系统，汽车电子，生命科学，光电通讯以及航空国防领域。

　　西安励德微系统科技有限公司是一家专业提供MEMS（Micro-Electro-Mechanical System）一体化解决方案的技术创新企业。公司建有标准化MEMS产线一条，涵盖深硅刻蚀、双面光刻、薄膜、清洗、键合和隐形划片等全产业链工艺设备和对应的测试能力，能快速完成MEMS产品的工艺开发、工艺验证和小批量生产工作，为众多科研院所、创新企业和高等院校提供了切实可行的定制化MEMS加工解决方案。围绕MEMS加工制造推动MEMS技术上游、下游资源交流对接，与MEMS领域内重点高校、科研机构、创新企业、行业组织建立了稳固的合作伙伴关系，通过公司完整的代工平台为科研项目实施及产品推广上市提供较为可靠保证。

　　江苏英特神斯科技有限公司是国内一家专门干MEMS（微电子机械系统）软件研究开发的高科技企业，同时开发硬件的设计与加工，拥有国际领先水平的微米纳米设计技术。公司与北京大学、中科院等10多家单位建立了紧密的产学研合作伙伴关系，建立了企业院士工作站，多次承担了国家“863”项目、国家科技部重点研发计划等项目。公司是中国微米纳米技术学会理事单位、江苏省新型感知器件产业技术创新联盟副理事长单位，南京市微米纳米工程技术研究中心。在硬件开发方面，公司在南京江北新区建有6000平方米研发大楼和百级、千级净化区，购置双面光刻、金属镀膜、晶圆键合、PECVD、RIE等加工设施，建成6寸MEMS传感器芯片工艺线。具备包含光刻、沉积、刻蚀、键合以及划片在内的完整工艺能力。常用的工艺有：PZT 刻蚀（湿法腐蚀）、电极沉积（PVD）、上下电极刻蚀（IBE 或湿法腐蚀）、绝缘层沉积（PECVD）、绝缘层刻蚀（RIE 或湿法）、衬底硅和器件层硅和（DRIE）、划片（机械或激光划片）等。公司在沉积低应力薄膜（PECVD 沉积氮化硅应力25MPa）、精细尺寸控制、PZT薄膜图形化以及电极电阻控制方面有着丰富的经验。

　　九峰山实验室提供成熟的一站式分析检测解决方案，帮助合作伙伴加速技术创新。可提供的检测分析服务包含各种半导体材料、器件和芯片的失效分析、物理结构分析、材料分析、化学分析等，并可根据合作伙伴的需求提供定制化的分析检测服务。实验室拥有各类设备超过250台/套，拥有4/6/8 inch工艺线 inch SiC & GaN、4/6 inch lnP & GaAs器件工艺线，及布局第四代半导体材料的工艺能力。围绕半导体检测分析专业领域部署能力，九峰山实验室提供一套包括材料分析技术、失效分析技术综合性、多学科视角、咨询性的科学方法来帮助合作伙伴发现并解决半导体材料、器件、芯片相关的问题，帮助合作伙伴加速技术创新。

　　微加工与器件平台为松山湖材料实验室公共技术平台下设子平台，规划超净实验室面积超过1000平方米。平台立足于微纳加工技术前沿及半导体器件产业高质量发展趋势，积极布局先进微电子器件、光电子器件、MEMS&NEMS器件、柔性器件、3D混合集成器件等领域，以满足电子信息、先进显示、人工智能、清洁能源、新概念材料加工等技术发展对于微纳加工的需求，目标建成集先进材料加工、器件工艺制备、及特殊工艺开发为一体的综合性研发平台，实现新材料从微米到纳米甚至原子级别的结构与器件的可控加工与测试，并可为客户提供个性化的工艺技术服务及器件解决方案。

　　西北工业大学宁波研究院智能传感芯片技术研究中心依托西北工业大学极端环境智能微系统国家重点实验室（培育）宁波基地、空天微纳系统教育部重点实验室宁波基地等优势平台，孵化宁波启朴芯微系统技术有限公司，建有国际先进、国内一流的8英寸MEMS核心工艺加工服务平台（部分设备兼容6英寸/4英寸/2英寸）。团队具有高水平的MEMS技术开发能力，拥有光学类与SOI类特色工艺能力，可定制化开发Cavity SOI晶圆、光学滤波芯片、高端MEMS核心芯片及产品，为公司可以提供一站式MEMS产品加速开发服务，促进MEMS产业高质量发展，引领智能化革命浪潮。

　　山东产业技术研究院是由山东省人民政府于2019年7月举办的独立法人事业单位，实行理事会领导下的院长负责制，无行政级别，无主管部门，企业化管理、市场化运营，秉持“商业成功是检验技术创新的唯一标准”的理念，着力建设“政产学研金服用”融合创新平台，贯通政策链、产业链、人才链、技术链、资本链，实现“五链”高效协调配置。为更好落实布局集成电路、MEMS传感器产业需求，加速科技成果转移转化，产研院成立微电子

　　兹传感器等六大重点方向，依托MEMS公共服务平台，聚集智能传感器产业链、产业项目、科技成果项目、创业团队，构建具有山东特色的集聚先进材料、微纳制造、系统封测、器件设计等产业链上下游联动的自主产业体系。在MEMS制造平台建设方面，产线布置已基本完善，一期建设洁净间

　　，批产线满足硅基微纳制造的批产需求，研发线形成体硅和面硅等硅基技术研发平台。

　　对于众多MEMS初创企业而言，如何高效、低成本地将创新想法转化为市场可接受的产品，一直是摆在面前的一大难题。此次参展的MEMS产线巨头们，将凭借先进的制造工艺、丰富的代工经验以及灵活的合作模式，为客户提供了一站式MEMS代工解决方案。无论您是正在寻找可靠代工伙伴的创业者，还是希望深入了解MEMS最新动态的业界同仁，2024第五届中国MEMS制造大会暨微纳制造与传感器展览会都将是您不容错过的精彩舞台！让我们相约展会现场，共同探索MEMS技术的无限可能，携手共筑MEMS产业新生态！

　　10月23-25日，苏州国际博览中心，中国MEMS制造大会邀您共襄盛会。